هدف سیلندر دوار تیتانیوم

این جزء مورد استفاده در فرآیندهای رسوب بخار فیزیکی (PVD) است که روشی برای رسوب لایه های نازک مواد بر روی یک بستر است. هدف لوله تیتانیوم از تیتانیوم خالص ساخته شده است و به شکل استوانه ای است که در طول فرآیند PVD می چرخد.

فرآیند PVD با استفاده از یک قوس الکتریکی یا کندوپاش مگنترون برای تبخیر مواد مورد نظر، در این مورد، تیتانیوم، و رسوب آن به عنوان یک لایه نازک بر روی یک بستر کار می‌کند. هدف سیلندر چرخان امکان رسوب یکنواخت تری از فیلم تیتانیوم را بر روی بستر فراهم می کند.

مزایای استفاده در فرآیندهای PVD شامل خلوص بالای فیلم رسوب‌شده، نرخ رسوب بالا و بهبود چسبندگی فیلم است. اهداف دوار تیتانیوم برای کندوپاش مگنترون از مواد تیتانیوم با کیفیت بالا ساخته شده است و برای مقاومت در برابر دماهای بالا و تنش های مکانیکی در طول فرآیند PVD طراحی شده است.

معرفی مشخصات

نوع سایز معمولی:

مزیت ما

اهداف تیتانیومی که ما عرضه می کنیم دارای دانه های ریز، توزیع یکنواخت، خلوص بالا، اجزاء کم و خلوص بالا هستند. فیلم TiN رسوب‌شده در دکوراسیون، ابزارسازی، نیمه‌رسانا و سایر زمینه‌ها با چسبندگی خوب، پوشش یکنواخت و رنگ‌های روشن استفاده می‌شود.

-- خلوص

برای تولید یک هدف کندوپاش تیتانیوم واجد شرایط، خلوص یکی از شاخص های عملکرد مهم آن است. خلوص هدف تیتانیوم تأثیر زیادی بر عملکرد پوشش کندوپاش دارد. هرچه خلوص هدف تیتانیوم بیشتر باشد، ذرات عنصر ناخالصی کمتری در فیلم تیتانیوم پراکنده شده، منجر به عملکرد بهتر پوشش PVD، از جمله مقاومت در برابر خوردگی و خواص الکتریکی و نوری بهتر می‌شود. با این حال، در کاربردهای عملی، اهداف تیتانیوم برای اهداف مختلف، نیازمندی‌های متفاوتی برای خلوص هستند. ماده هدف به عنوان منبع کاتد در کندوپاش استفاده می شود و عناصر ناخالصی و تخلخل موجود در مواد، منابع اصلی آلودگی فیلم رسوب شده هستند. آخال های تخلخل اساساً در طی آزمایش غیر مخرب شمش حذف می شوند و آخال های تخلخلی که حذف نمی شوند باعث تخلیه در طول فرآیند کندوپاش می شوند و در نتیجه بر کیفیت فیلم تأثیر می گذارند. محتوای عناصر ناخالصی را فقط می توان در نتایج آزمایش تجزیه و تحلیل عنصر کامل منعکس کرد، هرچه محتوای ناخالصی کل کمتر باشد، خلوص هدف تیتانیوم بالاتر است.

--تراکم

چگالی نیز عامل مهمی در اندازه گیری کیفیت اهداف تیتانیومی است. به منظور کاهش تخلخل در جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده، معمولاً هدف مورد نیاز است که چگالی بالاتری داشته باشد.

چگالی هدف نه تنها بر سرعت کندوپاش، بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد. هرچه چگالی هدف بیشتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است. علاوه بر این، افزایش چگالی و استحکام هدف به هدف اجازه می دهد تا در هنگام کندوپاش در برابر تنش حرارتی بهتر مقاومت کند. تراکم نیز یکی از شاخص های کلیدی عملکرد هدف است.

--اندازه ذرات و توزیع آن

به طور معمول، اهداف کندوپاش ساختارهای پلی کریستالی با اندازه دانه در حد چند میکرومتر تا چند میلی متر هستند. برای همان هدف، هرچه اندازه ذرات هدف کوچکتر باشد، سرعت کندوپاش هدف بیشتر است. علاوه بر این، هدف با اختلاف اندازه ذرات کوچکتر می تواند فیلمی با ضخامت یکنواخت تر را پاشش کند. این مطالعه نشان داد که اگر اندازه دانه هدف تیتانیوم زیر 100 میکرومتر کنترل شود و تغییر اندازه دانه در 20٪ حفظ شود، کیفیت فیلم پراکنده شده می‌تواند تا حد زیادی بهبود یابد.

--جهت کریستالوگرافی

تیتانیوم ساختار شش ضلعی نزدیک به هم دارد. از آنجایی که اتم های هدف تیتانیوم در طول کندوپاش به راحتی در امتداد جهت بسته شش ضلعی اتم ها پراکنده می شوند، به منظور دستیابی به سرعت کندوپاش بالاتر، می توان با تغییر روش، ساختار کریستالی هدف را تغییر داد. برای افزایش سرعت کندوپاش جهت کریستالوگرافی هدف تیتانیوم نیز تأثیر زیادی بر یکنواختی ضخامت فیلم پراکنده شده دارد.

--یکنواختی ساختاری

یکنواختی سازه نیز یکی از شاخص های مهم برای بررسی کیفیت هدف است. برای اهداف تیتانیومی، نه تنها صفحه کندوپاش هدف، بلکه ترکیب جهت عادی، جهت دانه و یکنواختی اندازه دانه متوسط ​​صفحه کندوپاش مورد نیاز است. تنها به این ترتیب، هدف تیتانیوم می تواند یک فیلم تیتانیوم با ضخامت یکنواخت، کیفیت قابل اعتماد و اندازه دانه ثابت را به طور همزمان در طول عمر خود به دست آورد.

مورد مشخصات

سرعت چرخش: هدف باید قابلیت چرخش با سرعت تا چندین هزار دور در دقیقه را داشته باشد تا به نرخ رسوب یکنواخت تری برسد و عمر هدف را افزایش دهد.

خنک‌سازی: هدف لوله تیتانیوم باید با آب خنک شود تا گرمای ایجاد شده در طول فرآیند رسوب‌گذاری از بین برود و از آسیب رسیدن به هدف جلوگیری شود.
صفحه پشتی: یک صفحه پشتی تیتانیوم معمولاً برای حمایت از هدف سیلندر در حال چرخش و ایجاد تماس الکتریکی استفاده می شود.
روش اتصال: هدف معمولاً با استفاده از پیوند انتشار یا سایر روش‌های پیوند با استحکام بالا به صفحه پشتی متصل می‌شود تا از هدایت حرارتی و الکتریکی خوب اطمینان حاصل شود.
خلوص: اهداف دوار تیتانیوم برای کندوپاش مگنترون باید از درجه خلوص بالایی برخوردار باشند تا ناخالصی‌های موجود در فیلم‌های رسوب‌شده را به حداقل برسانند و عملکرد ثابت را تضمین کنند. سطح ناخالصی برای اکثر کاربردها باید کمتر از 1000 قسمت در میلیون (ppm) باشد.

به طور کلی، مشخصات یک هدف سیلندر چرخان تیتانیوم بسته به نیازهای کاربردی خاص متفاوت خواهد بود و هدف را می توان برای رفع این نیازها سفارشی کرد.

تگ های محبوب: اهداف دوار تیتانیوم برای کندوپاش مگنترون، هدف لوله تیتانیوم