فلزات با خلوص بالا اهداف چند قوس

اهداف گرد چند قوس فلزی و آلیاژی

1. خلوص: 2N8,3N,3N5.4N,4N5,5N

2. تکنیک و سطح: جعلی، آسیاب شده، سطح درخشان براق، HIP

3. فرم/شکل: دایره ای / مسطح / لوله ای / گرد / صفحه / لوله، سفارشی ساخته شده طبق نقشه

4-سایز:

قطر گرد: 60 ~ 1000 میلی متر، ضخامت: 10 ~ 1500 میلی متر

ضخامت صفحه (15 تا 30) * عرض (50 تا 1500) * طول (100 تا 2000) میلی متر

لوله OD: 20 ~ 300 میلی متر، ضخامت: 5 ~ 60 میلی متر، طول: 50 ~ 2000 میلی متر

سایر موارد مرتبط

مسطح / گرد با خلوص بالا 99.99% تا 99.995 ماده هدف فلزی هدف کندوپاش کروم کروم

فلز: Ti، Ni، Cu، Co، Cr، Al، Fe، V، Zn، Sn، W، Mo، Ta، Nb، Zr، Hf، Ge، Bi، Sb، Mg، منگنز و غیره.

اهداف آلیاژ فلزی: Mo، Zr، Ta، Nb، NbZr، Ni، Si، Sn، NiGr(8:2)، NiGr(95:5)، NiV، NiCu، NiCr، NiFe، TiAl، AlCr، SiAl، CoFe، آلیاژهای ویژه CoCr، VFe، TiCr، TiV، NiTi، NbTi، WTi، WCu، SiGe، CoTaZr، CuNiMn و غیره قابل سفارشی سازی هستند.

اهداف خاکی کمیاب: Sc، Y، La، Ce، Gd، Tb، Dy، Nd، Sm، Er، Tm، Yb و غیره آلیاژهای دیگر را می توان سفارشی کرد.

فلز با خلوص بالا: Ni، Ti، Al، V، Co، Cu، Ta، Nb، W، Mo، Cr، Ag، Au و غیره.

بوته فلزی: W، Mo، Ta، Nb، Cu و غیره
مخروط فلزی: Ni، Ti، Co، Cr، Ta، Nb، W، Mo و غیره.

کاربرد

هدف به منبع کندوپاش اطلاق می‌شود که می‌تواند لایه‌های نازک کاربردی مختلف را بر روی یک بستر (شیشه، PET و غیره) تحت شرایط فرآیند مناسب از طریق کندوپاش مگنترون، آبکاری یونی چند قوس، یا سایر سیستم‌های پوششی پاشش کند.

سیستم کندوپاش مگنترون یک آهنربای قدرتمند گاوسی را در پشت هدف منفی قرار می دهد و محفظه خلاء با مقدار معینی گاز بی اثر (Ar) به عنوان حامل تخلیه پر می شود. در اثر فشار بالا، اتم‌های Ar یونیزه می‌شوند و به یون‌ها و الکترون‌های Ar+ تبدیل می‌شوند که منجر به تخلیه درخشش پلاسما می‌شود. در طول شتاب مگس به زیرلایه، الکترون ها تحت تأثیر میدان مغناطیسی عمود بر میدان الکتریکی قرار می گیرند که الکترون ها را منحرف می کند و به سطح نزدیک هدف متصل می شود. در ناحیه پلاسما، الکترون ها در امتداد سطح هدف به صورت مارپیچی پیشروی می کنند و در طول حرکت دائما با اتم های Ar برخورد می کنند و مقدار زیادی از یون های Ar+ را یونیزه می کنند. پس از برخوردهای متعدد، انرژی الکترون‌ها به تدریج کاهش می‌یابد و از شر خطوط نیروی مغناطیسی خلاص می‌شود و در نهایت روی زیرلایه، دیواره داخلی محفظه خلاء و منبع هدف می‌افتد.

تگ های محبوب: